深亚微米器件的诊断与特征分析变得越来越重要

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深亚微米技术使制造满足更复杂应用所需的高度集成器件成为可能.采用深亚微米技术使半导体制造商继续利用传统基于设计仿真的方法获得芯片早期验证成功面临显著的更大的困难.这些困难使依赖相同的仿真方法进行芯片设计调试的传统方式很难在制造加工前发现设计问题.
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