【摘 要】
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通过直流磁控溅射法制备纯钛薄膜,使用X射线衍射仪、扫描电镜和透射电镜对其进行分析表征。采用纳米压痕技术分别测试其应变速率在0.005~0.1 s~(-1)时对应的硬度大小。通过计
【机 构】
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上海理工大学机械工程学院,上海理工大学材料科学与工程学院,
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通过直流磁控溅射法制备纯钛薄膜,使用X射线衍射仪、扫描电镜和透射电镜对其进行分析表征。采用纳米压痕技术分别测试其应变速率在0.005~0.1 s~(-1)时对应的硬度大小。通过计算得到应变速率敏感性指数和激活体积,分析得到纳米晶钛起主导作用的塑性变形机制为位错和晶界的相互作用。
Pure titanium films were prepared by DC magnetron sputtering and characterized by X-ray diffractometry, scanning electron microscopy and transmission electron microscopy. Nanoindentation techniques were used to test the corresponding hardness of strain rate of 0.005 ~ 0.1 s ~ (-1). By calculating the strain rate sensitivity index and activation volume, the plastic deformation mechanism dominated by nanocrystalline titanium was found to be the interaction between dislocation and grain boundary.
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