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对ＷＯｘ电致变色薄膜着退色状态下的物相份结构，离子化合价态及其相对含量的研究表明，晶体ＷＯｘ薄膜在着色状态下，是以Ｈ０．３３ＷＯ３物相为主的混合相，并存在三种价态的钨离子，氧离子则存在于非单一的化合环境中，导致Ｏｌｓ峰位的多值移动。分析表明，ＷＯｘ薄膜的电致变色效应与薄膜物相结构和钨、氧离子化合价态及化合环境密切相关。