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硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料，它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命，而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机械薄膜材料残余应力的测量原理、方法和特点，可供微机电系统的设计和制造者参考。
微型机械材料的残余应力测量
【摘 要】
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硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料，它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命，而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系微型机械研究室
【出 处】
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机械工程材料
【发表日期】
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2001年4期
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