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介绍适用于制备微波滤波器的高温超导薄膜YBa2Cu3O7_δ(YBCO)的激光沉积工艺和Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)的先驱膜制备及铊化工艺.讨论了基片选择的要求和薄膜的形貌、微结构与微波表面电阻的关系.
微波滤波器的高温超导薄膜研制
【摘 要】
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介绍适用于制备微波滤波器的高温超导薄膜YBa2Cu3O7_δ(YBCO)的激光沉积工艺和Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)的先驱膜制备及铊化工艺.讨论了基片选择的要求和薄膜的形貌、微结构与微波表面电阻的关系.
【机 构】
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中国科学院物理研究所国家超导重点实验室,北京,100080；宁夏大学物理与电子信息工程系,银川,750021中国科学院物理研究所国家超导重点实验室,北京,100080;燕山大学材料与化学工程系,秦皇岛
【出 处】
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中国科学(A辑)
【发表日期】
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2002年02期
【基金项目】
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国家自然科学基金;
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