氯化物SFT法制备InGaAsP处延层

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日本学者用氯化物单平台温度层(SFT)法成功地气相外延制成了 InGaAsP 薄膜。此法具有较高的组份控制能力和重复性。文章列出了 InGaAsP 外延层的基本参数,生长动力学、光学和电学性质参数。指出,In-GaAsP 外延生长同其它Ⅲ—Ⅴ族合金一样,缓慢的动力学过程控制着外延生长速度。另外还制成了一个 Japanese scholars using chloride single platform temperature layer (SFT) method successfully vapor-deposited InGaAsP thin film. This method has a higher component control and repeatability. The article lists the basic parameters, growth kinetics, optical and electrical properties of InGaAsP epitaxial layers. It is pointed out that the In-GaAsP epitaxial growth, like other Group III-V alloys, has a slow kinetic process that controls the epitaxial growth rate. Also made one
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