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ECR刻蚀设备是利用电子在微波和磁场中的回旋共振效应,在真空条件下形成高密度、高活性的等离子体,进行低温刻蚀的设备。我所研制的ECR刻蚀设备采用了微机/手动控制方式。本文主要介绍了该控制系统硬件电路的实现方法。
ECR刻蚀设备微机控制系统硬件设计
【摘 要】
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ECR刻蚀设备是利用电子在微波和磁场中的回旋共振效应,在真空条件下形成高密度、高活性的等离子体,进行低温刻蚀的设备。我所研制的ECR刻蚀设备采用了微机/手动控制方式。本
【机 构】
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西安电子科技大学,西安电子科技大学
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2002年12期
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