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本文介绍了高精度多晶多反射X射线衍射仪的一种新的应用．首次将其应用于研究高灵敏度第三代微光象增强器中由掺Zn的p型GaAs／GaAlAs、玻璃组成的光电阴极的材料特性；发展了用倒格子空间衍射图方法评价光电阴级组件晶体质量的方法．通过分析得知，衍射强度在倒格子空间沿。方向展宽主要起因于晶体中的嵌镶效应的增强．文中采用衍射动力学理论的计算方法并忽略初始条件，模拟后得到的曲线与衍射强度沿ω／θ方向的投影强度曲线符合的比较好．粘接良好的阴极样品表明，GaAs／GaAlAs晶格常数的变化基本上可以消除，但粘接引起的嵌镶效应的增强却不能完全消除．