【摘 要】
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美国斯坦福大学(Stanford University)的研究人员近日开发出一种创新的晶圆等级(wafer-seale)剥离(1ift-off)工艺,能在可重复使用的硅晶圆上制作纳米线电路,然后将之移植到任
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美国斯坦福大学(Stanford University)的研究人员近日开发出一种创新的晶圆等级(wafer-seale)剥离(1ift-off)工艺,能在可重复使用的硅晶圆上制作纳米线电路,然后将之移植到任意形状的、采用任何一种材料的衬底上。该研究团队是由斯坦福大学教授Xiaolin Zheng所率领,他们声称,这种柔
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