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采用射频反应磁控溅射镀膜方法在玻璃基底上制备了Cr掺杂Cu3N薄膜，并研究了Cr掺杂对Cu3N薄膜的结构、形貌和光学特性的影响。x射线衍射结果显示cr的掺入并不会改变薄膜的择优生长方向，但是随着Cr掺杂浓度的增加，一方面衍射峰会逐渐减弱，说明Cr会抑制Cu3N的结晶和生长；另一方面衍射峰会向小角度偏移，说明Cu3N的晶格常数在逐渐增大。扫描电子显微镜结果显示随着Cr掺杂浓度的增加，颗粒尺寸逐渐变小，但一直保持球形，这与X射线衍射结果一致。吸收光谱曲线显示随着Cr掺杂浓度的增加，其吸收率在不断下降。同时Cr