【摘 要】
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采用俄歇电子能谱仪（AES）以及X射线电子能谱仪（XPS）原位研究了室温下铀基氮化层在纯O2气氛中的初始氧化过程。原位氧化过程中U的AES微分谱以及U 4f、N 1s、O 1s谱的变化显示,U2N3
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所,表面物理与化学重点实验室
【基金项目】
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中国工程物理研究院院基金资助项目（2011AD301015）
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采用俄歇电子能谱仪（AES）以及X射线电子能谱仪（XPS）原位研究了室温下铀基氮化层在纯O2气氛中的初始氧化过程。原位氧化过程中U的AES微分谱以及U 4f、N 1s、O 1s谱的变化显示,U2N3＋x氧化形成了UNxOy;AES深度剖析结果显示,经18L以及120LO2曝露氧化层与氮化层界面处均出现N的富集,表面形成氧化层-富氮层-氮化层的三明治结构。富氮层U原子的AES微分谱中OPV混合峰的峰位远低于氮化层与氧化层,N 1s谱向低能侧移动,表明富氮层主要成分为N/U比较氮化层更高的氮化物。推测U2N3
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