【摘 要】
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本文采用杨-顾相位恢复算法数值模拟设计了用于氦氖激光基模光束转化成厚环形输出的二元光学元件,计算了衍射效率,并进行了刻蚀深度误差模拟。结果表明二元光学元件在16阶量化后仍
【机 构】
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哈尔滨工业大学光电技术研究所可调谐(气体)激光技术国防科技重点实验室
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本文采用杨-顾相位恢复算法数值模拟设计了用于氦氖激光基模光束转化成厚环形输出的二元光学元件,计算了衍射效率,并进行了刻蚀深度误差模拟。结果表明二元光学元件在16阶量化后仍能基本达到设计要求。
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