【摘 要】
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利用原子力显微镜对材料表面的力学性能进行定量表征时,需要准确知道原子力显微镜探针悬臂的弹性常数,所以对弹性常数进行校正十分重要。该文综述近年来对探针悬臂弹性常数的
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利用原子力显微镜对材料表面的力学性能进行定量表征时,需要准确知道原子力显微镜探针悬臂的弹性常数,所以对弹性常数进行校正十分重要。该文综述近年来对探针悬臂弹性常数的校正方法,主要包括维度法、静态挠度法、动态挠度法。维度法对不同悬臂形状（主要针对矩形、V型）进行阐述,分析不同方法使用的数学模型与优缺点;静态挠度法不仅对方法的数学模型进行阐述,还着重介绍近年来对该方法精确度的改进研究;动态挠度法以附加质量法、Sader法与热调谐法分别阐述,比较3种方法的模型特点与先进性;最后分析常用探针适合使用的校正方法,对今
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