论文部分内容阅读
利用DLTS技术详细研究了经钴溅射并在不同温度下的RTA在n型和p型硅里引进的深能级。结果表明在n型硅里有五个深能级生成,这些能级的浓度较低,分布在2×10~(10)—1×10~(11)cm~(-3)范围内。它们可归因于替位的钴原子,钴与RTA的互作用或钴与缺陷的络合物。
硅的钴溅射引进深能级的研究
【摘 要】
：
利用DLTS技术详细研究了经钴溅射并在不同温度下的RTA在n型和p型硅里引进的深能级。结果表明在n型硅里有五个深能级生成,这些能级的浓度较低,分布在2×10~(10)—1×1
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所,IMEC
【出 处】
：
电子学报
【发表日期】
：
1991年1期
其他文献
本文提出一种利用数论变换计算长序列线性卷积的算法。它利用较短的数论变换对长序列卷积进行分段计算,减少了数论变换处理中移位操作的位数;用适当的字长就能完成较长的卷积
随着经济和技术的高速发展，对防伪技术和防伪制品提出的要求也越来越高，自80年代末开始，由于光电技术的迅速发展，人们开始寻求将这方面的最新技术引入防伪领域。光变色膜的开发和
本工作研究了同时形成polycide栅,源/漏硅化钛接触和浅PN结的MOS器件制造技术。实验结果表明,通过硅化钛薄膜注入As,并利用NH_3等离子体辅助热退火(NPTA)工艺,可制备性能良好
水工程中土堤坝施工和质量控制尤其主要。土堤坝应该和混凝土一样，能够经受住风剥雨蚀，坚固成形。笔者对堤坝土填筑质量控制加以详尽的阐述，以利土堤坝的质量管理。
由于轴式旋转圆筒筛筛筒的倾斜设置，导致筛筒在离心脱水时容易因受力不均匀而发生剧烈晃动或偏移，从而导致设备的损坏或造成事故的发生，结构不够牢固，使用不够稳定。在此，提供一种
摘 要：根据《幼儿园教育指导纲要（试行）》的要求，幼儿园教学提倡家园共育方式，注重家庭和幼儿园共同合作进行幼儿教育教学。在实际的教育过程中发现影响家园共育的几点问题，在此做几点简单的总结与分析。影响家园共育的因素有家庭的教养方式，家庭中教养者的文化差异、语言差异，家庭的配合度、关注度，教师与家长的沟通交流等。通过对问题的分析，提出几点家园共育的对策。 关键词：家园共育；教养方式；语言文化差异
托莫日特金矿地处东昆仑一西秦岭地层分区、柴达木北缘小区，属蚀变岩型金矿床。通过分析矿区地层、构造、地球化学、蚀变、矿体产出等特征，认为托莫日特金矿区的绝大多数金矿体
本文提出了一种单一接收器下多径回波信号分辨的新方法,该方法去掉了以往各种方法所要求的回波数目或者信号波形形状的先验信息要求,使得它更加适用于实际问题。计算机模拟结