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【摘 要】
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约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术.本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系
【机 构】
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哈尔滨工业大学机器人研究所,厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室
【出 处】
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高技术通讯
【发表日期】
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2002年6期
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