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采用Silvoca公司的UTMOST模型参数提取程序对BSIM3V3模型参数进行提取,得出了BSIM3V3模型参数随器件尺寸变化的规律,并将此方法应用于清华大学微电子所工艺线1.0 μm工艺,给出此工艺下的多尺寸器件的BSIM3V3模型参数.同时,对该方法的准确性进行了分析.
优化的BSIM3V3模型参数提取策略
【摘 要】
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采用Silvoca公司的UTMOST模型参数提取程序对BSIM3V3模型参数进行提取,得出了BSIM3V3模型参数随器件尺寸变化的规律,并将此方法应用于清华大学微电子所工艺线1.0 μm工艺,给
【机 构】
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微电子学研究所, 北京 100084
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2000年6期
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