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品质因子是判断微结构加工质量的重要标准，特别是经过真空封装的微机械结构，它的品质因子大小可从几百到几万，具有很大的散布范围，因此对真空封装微机械陀螺品质因子的测试就显得格外重要．本文详细阐述了电容式微机械陀螺品质因子测试的基本原理，提出对静电激励-电容检测陀螺和机械激励-电容检测陀螺品质因子测试的具体方法，并对这两种方法的测试结果进行了对比分析．