【摘 要】
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在检定线纹尺、孔径和狭缝的定位量具,以及其他线值尺寸为2.5～150μm的物体时,常常需要进行误差不大于1μm的测量。这类测量可以用高分辨率的显微镜进行,其简图如图所示,物镜
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在检定线纹尺、孔径和狭缝的定位量具,以及其他线值尺寸为2.5～150μm的物体时,常常需要进行误差不大于1μm的测量。这类测量可以用高分辨率的显微镜进行,其简图如图所示,物镜1把物体的放大象投射到螺旋目镜测微镜2的分划板平面上,观察者通过目镜3加以观测。被测长度 L=C(N_2-N_1),
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