【摘 要】
：
用刀边法取样估算电子束斑直径一直是人们常用的方法,但由于难以得到平滑、陡峭的刀边,其分辨率一直限制在亚微米数量级。本文研究、制做了硅腐蚀光栅,并用其做取样器,用刀边
【机 构】
：
中国科学院电子研究所,中国科学院电子研究所,
论文部分内容阅读
用刀边法取样估算电子束斑直径一直是人们常用的方法,但由于难以得到平滑、陡峭的刀边,其分辨率一直限制在亚微米数量级。本文研究、制做了硅腐蚀光栅,并用其做取样器,用刀边法测试了DX-3 SEM电子束斑直径。实验表明用硅腐蚀光栅做刀边测试电子束斑,分辨率高于50nm。
Sampling with the knife edge method to estimate the electron beam spot diameter has been a commonly used method, but its resolution has been limited to the order of submicron because of the difficulty of obtaining a smooth, steep edge. In this paper, a silicon corrosion grating was fabricated and used as a sampler. The diameter of the DX-3 SEM electron beam spot was tested by the knife edge method. Experiments show that the use of silicon etching grating edge-tested electron beam spot, resolution higher than 50nm.
其他文献
川崎钢铁公司开发出中间包无氧化加热技术日本川崎钢铁公司和中外炉工业公司为使连铸机中间包在无氧化状态下加热，共同开发了应用蓄热式热交换器原理的“高温Ｎ２喷射加热器”，并在
01 光纤液位传感器本文介绍了光纤的构造和特性,光纤液位传感器利电空、水、油介质反射光量的不同来划别液位。文中介绍丁其原理和特性。它具有小型、可移动、防爆、安全的
让小学生快乐学习,会促进小学生语文学习积极性的提高。在小学语文教学重要性不断提高的今天,利用怎样的教学模式让学生意识到语文学习的快乐,对于学生的个人发展是有重要意
改革的最终目的是为了发展。浙江省冶金研究院自1984年改革以来,紧紧围绕科技与经济结合、科技成果产业化这个中心环节,充分发挥科技人员的积极性与创造性,促进了科技与经济
本文将辐射换热的网络法运用于锅炉的炉内传热计算,从而简捷地导出了炉内传热的基方本程及炉膛黑度的定义式,並对其物理概念进行了阐述。
In this paper, the radiative hea
本文结合热轧圆钢椭圆度在线测量仪的研制,介绍了一种提高动态测量精度的方法——激光扫描测径比较法;讨论了恶劣环境下的抗干扰和防污染措施;分析了各种因素引起的测量误差,
1999年4月22日,市委市政府召开“金桥工程”总结表彰暨经验交流会。会议强调,各级科协组织和广大科技人员要进一步提高认识,总结经验,把“金桥工程”的实施引向深入,为加速
就玻璃浮子流量计采用差动变压器检测浮子位移,实现电远传的方法进行了介绍,重点介绍了在这种方法下所产生的非线性利用转换器改变反馈电压而获得补偿。补偿后的精确度可达到
本文从计量的角度描述了原油生产、集输和处理生产过程中计量石油及其产品时不确定度的含义,并结合英国北海油田具体情况从经济效益上阐明了计量和标定系统对油田的重要意义,
本文基于通常采用的一些假设,建立了框架剪力墙体系(以下简称F-W体系)在水平荷载作用下协同工作的计算模型。根据力法原理推导出楼层侧移、剪力墙在楼层处的转角、连系梁端弯