【摘 要】
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本文论述俄歇电子谱,X-线光电子谱,离子散射谱和二次离子质谱的原理,并阐明它们在电子器件加工方面的应用。电子器件加工分成五个方面:基片及其加工,被膜,刻图,互连,(5>兼容
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本文论述俄歇电子谱,X-线光电子谱,离子散射谱和二次离子质谱的原理,并阐明它们在电子器件加工方面的应用。电子器件加工分成五个方面:<1>基片及其加工,<2>被膜,<3>刻图,<4>互连,(5>兼容性。每个方面都给
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