【摘 要】
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本文介绍了应用现行的ＰＳＰＩＣＥＶ５．０软件和ＣＡＤ优化技术，对亚微米电子束曝光机高速偏放电路的ＶＭＯＳＦＥＴ参数进行处理。针对电路中的关键参数：导通电阻、开关速度、温度影响、灵敏度及噪声干扰进行分析、设
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本文介绍了应用现行的ＰＳＰＩＣＥＶ５．０软件和ＣＡＤ优化技术，对亚微米电子束曝光机高速偏放电路的ＶＭＯＳＦＥＴ参数进行处理。针对电路中的关键参数：导通电阻、开关速度、温度影响、灵敏度及噪声干扰进行分析、设计。
This paper introduces the application of the current PSPICEV5.0 software and CAD optimization techniques to deal with the VMOSFET parameters of high speed bias circuits for submicron electron beam lithography. For the key parameters in the circuit: on-resistance, switching speed, temperature effects, sensitivity and noise interference analysis and design.
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