【摘 要】
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提出了一种采用变间距差动式电容结构设计的电容压力传感器 ,并详细讨论了弹性体厚度的理论计算和版图的设计 .此种传感器是用来测量近海海水深度和浪高 ,并由此得到潮汐的变
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提出了一种采用变间距差动式电容结构设计的电容压力传感器 ,并详细讨论了弹性体厚度的理论计算和版图的设计 .此种传感器是用来测量近海海水深度和浪高 ,并由此得到潮汐的变化的 .这种差动式结构是利用压力作用在可动电极上 ,在微机械加工的过程中 ,采用某种连接 ,大大提高了传感器的灵敏度和测量精度 .
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