氧化锌透明导电极

来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wuming66666666

【摘要】

：

氧化锌膜是一种新型导电极。性能优良,价格低廉。本文主要介绍氧化锌膜的制作方法及工艺参数对其性能的影响。 Zinc oxide film is a new type of conducting pole. Excell

【作者】

：

贾正根

【机构】

：

南京55所,

【出处】

：

真空电子技术

【发表日期】

：

1986年05期

【关键词】

：

透明导电电阻率变化工艺参数霍耳迁移率可见光透过率二氧化锡磁控溅射沉积光电特性可见光范围气体压强

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氧化锌膜是一种新型导电极。性能优良,价格低廉。本文主要介绍氧化锌膜的制作方法及工艺参数对其性能的影响。 Zinc oxide film is a new type of conducting pole. Excellent performance, low price. This article introduces the zinc oxide film production methods and process parameters on its performance.

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