【摘 要】
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随着湿法黑硅技术的进步和产能放大,其设备成本会持续降低,电池效率增益的优势也会逐渐体现,在 2018 年湿法黑硅有可能实现大规模应用.rn1) 金刚线切割多晶硅片的添加剂制绒
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随着湿法黑硅技术的进步和产能放大,其设备成本会持续降低,电池效率增益的优势也会逐渐体现,在 2018 年湿法黑硅有可能实现大规模应用.rn1) 金刚线切割多晶硅片的添加剂制绒方法( 有机催化剂 OCT).多晶硅片的织构化技术通常使用“HF+HNO3+DIW”的腐蚀体系,该体系的腐蚀需要将硅片表面的切割损伤缺陷作为腐蚀起始的催化点.当使用金刚线切割多晶硅片时,硅片表面的粗糙度很低,减小了腐蚀起始的催化点,很难使用这种酸性腐蚀体系直接腐蚀,需使用一定的添加剂在硅片表面人为地增加腐蚀起始点,这样既可以使硅片表面较为光滑,又可以使有一定粗糙度的硅片得以腐蚀.因此,电镀金刚线切割的多晶硅片可以使用这种腐蚀溶剂腐蚀;而使用树脂金刚线切割的多晶硅片的表面过于光滑,仍不能采用这种添加剂进行腐蚀.
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