【摘 要】
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采用金属有机物热分解法(MOD)制备了2种不同膜厚,具有(001)择优的四方相PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)铁电薄膜.分别用极图和XRD图谱估算了PZT薄膜的有效弹性常数.在极图分析方法中,
【机 构】
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湘潭大学,国家教育部先进材料及其流变特性重点实验室
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采用金属有机物热分解法(MOD)制备了2种不同膜厚,具有(001)择优的四方相PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)铁电薄膜.分别用极图和XRD图谱估算了PZT薄膜的有效弹性常数.在极图分析方法中,高斯分布函数能够较好地描述薄膜中晶粒的分布趋势,用(001)极图可以估算(001)择优PZT薄膜的有效弹性常数.用XRD图谱分析薄膜中(hkl)织构的相对轴密度,并以此近似地作取向的统计平均,可得到PZT薄膜的有效弹性常数.结果表明,用这2种方法估算PZT薄膜有效弹性常数得到的结果比较接近,在相同工艺下不同厚度的PZT薄膜其弹性不同.
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