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在研制成功ＧｅＳｉ合金单模脊形波导事，进一步用这种波导研制Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ调制器。文中对调制器设计中的三个步骤进行了优化，分析并且讨论了结构不对称性和有源区载流子吸收效应的影响，为研制工作奠定了基础。
GexSi1—x／Si脊形波导Mach—Zehnder干涉型调制器的优化分析与设计
【摘 要】
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在研制成功ＧｅＳｉ合金单模脊形波导事，进一步用这种波导研制Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ调制器。文中对调制器设计中的三个步骤进行了优化，分析并且讨论了结构不对称性和有源区载流子吸收效应的影响，为研制工作奠
【机 构】
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西安交通大学微电子工程系
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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1998年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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