碳纳米涂层材料的二次电子发射系数及工艺研究

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采用电泳沉积制备薄膜的方法,在铝合金镀银片上均匀的涂覆纳米碳涂层。研究了不同的电泳电压及电泳时间对涂层形貌结构的影响。扫描电子显微镜(SEM)、二次电子发射系数(SEY)测试结果表明,保持阴阳极间距为1cm,在30V的直流电压下电泳15min所获得的样片涂层均匀、连续、致密且具有明显的陷阱结构。实验表明,其SEY最大值σmax达到2.03,对应的入射能量为500eV,E1能量点在60eV。使用Ar离子轰击清洗表面10min后,样片的SEY最大值σmax达到1.76,对应的入射能量Emax为400eV,E1
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