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来源 :南京工学院学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
本文介绍了以电泳涂敷法制成的较薄玻璃膜为介质膜的金属—玻璃—半导体(MGs)结构的C—V特性测量,介绍了离子探针(IMA)测量玻璃膜的性质以及运用计算机进行曲线拟合。结果表
【作 者】
:
张安康
夏海良
简耀光
王科鸣
【机 构】
:
南京工学院电子工程系,南京工学院电子工程系,南京工学院电子工程系,四川固体电路研究所,
【出 处】
:
南京工学院学报
【发表日期】
:
1986年04期
【关键词】
:
玻璃膜
电泳涂敷
离子探针
介质膜
电荷密度
深度分布
曲线拟合
热成型
温度处理
内层
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