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基于LTCC技术设计了一个三腔SIW（介质集成波导）滤波器以及集成该滤波器的RF前端MCM模块。并通过LTCC工艺加工了上述滤波器和MCM模块多层基板，对其进行组装、测试和分析。测试曲线与结果与设计值较吻合，验证了LTCC基板集成SIW元件的可行性，为LTCC无源元件的实现探索了一条新的途径。
基于LTCC技术的SIW元件集成设计与工艺
【摘 要】
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基于LTCC技术设计了一个三腔SIW（介质集成波导）滤波器以及集成该滤波器的RF前端MCM模块。并通过LTCC工艺加工了上述滤波器和MCM模块多层基板，对其进行组装、测试和分析。测试曲
【机 构】
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中电科技集团五十五所,单片集成电路与模块国家重点实验室,东南大学
【出 处】
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环球市场信息导报（理论）
【发表日期】
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2012年6期
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