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低温聚硅酮薄膜晶体管是用于驱动液晶屏的一种电力电子器件。快速热处理装置是在制造低温聚硅酮晶体管中对大尺寸玻璃基板实施高温、快速、表里温度均匀热处理的一种必不可少的重要热处理装备。
制造低温聚硅酮薄膜晶体管用快速热处理装置
【摘 要】
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低温聚硅酮薄膜晶体管是用于驱动液晶屏的一种电力电子器件。快速热处理装置是在制造低温聚硅酮晶体管中对大尺寸玻璃基板实施高温、快速、表里温度均匀热处理的一种必不可少
【出 处】
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工业加热
【发表日期】
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2009年5期
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