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针描法原理的重要特点就是用一个很尖细的触针来感触被测表面轮廓。为了使触针的运动能正确地反映被测表面的实际轮廓曲线，在理论上触针尖端圆角半径应该等于零，而且应施加一定的测量力来保证触针和被测表面有效接触。实际使用的触针尖端圆角具有一定大小半径，所施加的测量力会造成被测表面的弹性变形和塑性变形。文章分析了触针尖端圆角半径和测量力造成的被测表面粗糙度测量误差，并给出了不同触针尖端圆角半径引起的测量误差值。