【摘 要】
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磁控溅射纯V靶制备钒氧化物VOx薄膜,研究不同氧通量对VOx薄膜x值的调控。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪和霍尔效应仪对薄膜形貌、结构和电学性能进行表征。结
【机 构】
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辽宁科技大学材料与冶金学院,辽宁三三工业有限公司研究设计院
【基金项目】
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国家自然科学基金(51502126)
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磁控溅射纯V靶制备钒氧化物VOx薄膜,研究不同氧通量对VOx薄膜x值的调控。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪和霍尔效应仪对薄膜形貌、结构和电学性能进行表征。结果表明:随着氧通量的增加,钒氧化物形貌由尖角较大颗粒逐渐圆滑缩小团聚,x值由1转变为1.5~2.5之间,最终接近2.5,同时电阻也逐渐增长。
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