【摘 要】
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本文介绍了一种性能优良的半导体气敏器件的结构和性能,分析了环境气氛对器件参数的影响,给出了“清净空气”及测试气氛条件的产生系统以及该气氛条件下进行的各种实验。
In
【机 构】
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哈尔滨通江晶体管厂,哈尔滨市半导体传感器件研究所
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本文介绍了一种性能优良的半导体气敏器件的结构和性能,分析了环境气氛对器件参数的影响,给出了“清净空气”及测试气氛条件的产生系统以及该气氛条件下进行的各种实验。
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