钛合金在小量程压力传感器中的应用

来源 :仪表材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shuaigekk1989
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本文着重介绍Ti-10Mo-8V-1Fe-3Al高强度钛合金的性能及热处理工艺。用它制造压力膜片的应变压力传感器,理论分析和实验表明,采用钛合金制作压力膜片可以较大幅度提高小量程压力传感器的精度.采用钛合金制造膜片较之采用不锈钢膜片,其压力传感器的非线性误差降低1/3,YCB-10D应变压力传感器(196×10~4Pa以下规格)的非线性、回差、重复性均在0.2~0.5%以内. This article focuses on the Ti-10Mo-8V-1Fe-3Al high-strength titanium alloy performance and heat treatment process. Using it to manufacture the pressure sensor of the pressure diaphragm, theoretical analysis and experiments show that using titanium alloy pressure diaphragm can greatly improve the accuracy of small-scale pressure sensor. The use of titanium alloy diaphragm compared with the stainless steel diaphragm, which The nonlinearity error of the pressure sensor is reduced by 1/3. The nonlinearity, hysteresis and repeatability of YCB-10D strain pressure transducer (196 × 10-4Pa) are within 0.2-0.5%.
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