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臭氧氧化结合化学吸收已被证明能同时脱除烟气中多种污染物,臭氧产生能耗大抑制了该工艺的进一步推广应用。针对此问题,开发了两种低耗高效臭氧发生技术:高频高压臭氧发生技术和脉冲流光放电臭氧发生技术。再此基础上对臭氧氧化结合化学吸收同时脱除烟气中多种污染物进行经济性分析,在达到同等脱硫率和脱硝率,且脱汞率远大于电子束的同时,高频高压放电干空气源(SF6)和脉冲放电单通道干空气源的耗电成本比电子束分别节省71.1%和92.7%。