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本文研究了探针的软接触技术，给出了软探针的结构示意图，介绍了软探针的特点、制造和应用。
探针软接触技术
【摘 要】
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本文研究了探针的软接触技术，给出了软探针的结构示意图，介绍了软探针的特点、制造和应用。
【机 构】
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中国华晶电子集团公司技术支援中心
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1995年2期
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