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在等离子体源离子注入（PSII）技术中，被加工材料表明形状的弯曲使附近鞘层中电场结构出现聚焦效应，从而引起离子束流和离子注入剂量在材料表明上分布非常不均匀．在半圆容器表面情况下，这种情况尤为明显．利用MonteCarlo方法，考察了有共心附加零电位电极时半圆容器内底中央部位Ar^＋注入能量和角度分布及真空室中气压参数的影响．通过在不同半径的鞘层边界上随机抽取与半径成正比的离子数量，计算了注入到内底表面的所有离子能量分布和角度分布．在模型中，通过考虑两种主要碰撞过程：电荷交换碰撞和弹性碰撞．对不同工作气压下