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本文对2CN6型玻璃钝化硅快恢复整流二极管的结构设计和制造工艺进行了深入分析,确定了合理的结构参数和先进的工艺流程,选用合适电阻率和厚度的N型硅单晶片,采用磷、硼深扩散,精确控制基区宽度形成P^+NN^+结构;铂扩散降低少子寿命τ,从而缩短反向恢复时间τrr;双面蒸铝得到铝硅欧姆接触以降低正向压降VFM;钼柱过渡高温冶金焊接确保抗拉强度,并与硅芯片及玻璃实现良好热匹配;化学腐蚀形成台面降低表面电场