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针对“神光-Ⅱ”装置第九路系统主激光瞄准精度小于等于30 μm和大焦斑辐照均匀性优于10%的要求,提出了靶场终端光学组件的设计结构.应用有限元法对组件关键机械元件和ICF靶室整体进行动静态分析,优化了设计参数.同时与聚焦透镜配合进行数值分析列阵透镜,确定了单元数、曲率和厚度以及单元长和宽等参数.经过实验测试,主激光瞄准精度达到28.9 μm,大焦斑辐照的形状为1 000 μm×500 μm,均匀性为12.0%.