【摘 要】
：
通过传统的光刻工艺和纳米引晶技术 ,在抛光的单晶Si衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案 ,并利用该图案与抛光Si处金刚石成核密度的巨大差异 ,实现金刚石薄膜的高选择
【机 构】
：
吉林大学超硬材料国家重点实验室!长春130023,吉林大学超硬材料国家重点实验室!长春130023,吉林大学超硬材料国家重点实验室!长春130023,西北核技术研究所,西安710024,吉林大学超硬材
论文部分内容阅读
通过传统的光刻工艺和纳米引晶技术 ,在抛光的单晶Si衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案 ,并利用该图案与抛光Si处金刚石成核密度的巨大差异 ,实现金刚石薄膜的高选择比生长。该方法具有工艺简单、沉积效率高、选择比高、对底无任何损伤等优点。同时 ,这种方法很容易在不同衬底上实现金刚石薄膜的大面积选择性生长。
Through the traditional lithography process and nano-seeding technology, the seeding pattern with the ultra-fine diamond nano-powder is formed on the polished single-crystal Si substrate, and the huge difference of the diamond nucleation density at the polished Si is utilized, Diamond film to achieve a high choice than the growth. The method has the advantages of simple process, high deposition efficiency, high selection ratio and no damage to the bottom. At the same time, this method makes it easy to grow large-area selective diamond films on different substrates.
其他文献
近年来曾用瑞香狼毒制剂对小鼠移植肿瘤的抑制作用进行了研究,发现瑞香狼毒水提物对Liewis肺癌的抑瘤率为48.52%。其效果与农吉利、长春新碱等相当或略高,经临床观察证明有
红土清江滋兰哺蕙,千年宋城俊采星驰!赣州三中,创建于1954年,六十余年来砥砺前行,总结出“以人为本、全面发展——让师生受到尊重、让师生充分发展、让师生感悟成功”的办学
有人可能会问,我对自己树立的目标高度重视,念念不忘,时时牢记在心,是否就可以实现呢？答案是不一定。因为,目标的确立,不但须要重视,还要讲究科学。目标确立的不科学,再重视,
郭祯祥教授是中国台湾台北师范大学教授,博士研究生导师,毕业于美国北伊利诺州大学,获博士学位。现为联合国教科文组织国际艺术教育学会主席,国际著名艺术教育学者,在艺术教
江苏省苏州工业园区东沙湖学校是一所九年一贯制公立学校,拥有优越的国际化和现代化办学背景。学校以“成就优雅与智慧的人生”为核心理念,向每一位学生提供优质的教育,使具
齐墩果酸是一种广泛存在于植物界的五环三萜化合物,临床上主要用作保肝药物。本文综述了近几年来国内有关齐墩果酸的结构鉴定、药理、含量分析及资源和临床、生产工艺等方面
著名华人导演李安说过:“一部好的电影,改变一个人看待世界的方式。”为此,四川成都市新都一中的语文老师夏昆不惜“跨界”为学生开设电影课,并和学生共同写作出版国内第一本
三、１０种策划职业新规则１、无论你现在或将来正从事或将从事的职业是什么，对职业要负责这一点切切不可忘记。简言之，就像一名牙科医师对他医治的患者的患牙要负责那样，你一定要对自
我们的人生像是一条连续不断的、圆滑润泽的河流。我们一年一年、一日一日不曾间断地栖息其中。岁月像流水卷动河沙一样,把我们的生命牵引着,朝前滚滚而去。日落或者月影,是
无梗五加 Acanthopanax sessiliflorus(Rupr.et Maxim.)Seem.是在研究刺五加A.senticosus(Rupr.et Maxim.)Harms.的过程中发现的。在收购刺五加根(根茎)、茎、叶中,发现混入