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从计及边缘效应的二维平行板电容计算公式出发，应用虚位移原理给出相应的静电力计算公式，在此基础上导出了矩形、圆形平行板静电力计算式。通过与有限元计算结果对比，得到了不同计算公式的精度，其中应用复变函数方法得到的简化公式形式简单，精度高，能够满足工程计算要求。
计及边缘效应的静电驱动微结构静电力计算
【摘 要】
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从计及边缘效应的二维平行板电容计算公式出发，应用虚位移原理给出相应的静电力计算公式，在此基础上导出了矩形、圆形平行板静电力计算式。通过与有限元计算结果对比，得到了不同
【机 构】
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西安电子科技大学机电工程学院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金联合基金资助项目(10476019)
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