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【摘 要】
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采用直流磁控溅射（DMS）技术和能量过滤磁控溅射（EFMS）技术在玻璃基底上制备了TiO2薄膜。用TFC膜系设计软件优化设计了单层和双层减反射薄膜,确定制备工艺参数,根据优化结果分别制
【机 构】
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河南城建学院数理学院,哈尔滨工业大学机电工程学院,郑州大学物理工程学院,平顶山市农业科学院
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2018年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金（61076041）,河南省科技攻关项目（172102210106,152102210038）
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