论文部分内容阅读
用表面波等离子体装置进行了类金刚石薄膜的合成实验,研究了微波功率、基底负偏压和气体组成等条件对成膜的影响.用拉曼光谱和扫描电子显微镜对薄膜结构和表面形貌进行了分析,得出在100 Pa的工作气压下,使用CH4放电,大功率和高偏压有利于生成质量较好的薄膜.
表面波激发等离子体合成类金刚石薄膜的实验研究
【摘 要】
：
用表面波等离子体装置进行了类金刚石薄膜的合成实验,研究了微波功率、基底负偏压和气体组成等条件对成膜的影响.用拉曼光谱和扫描电子显微镜对薄膜结构和表面形貌进行了分析
【机 构】
：
中国科学院结构分析开放实验室中国科学技术大学近代物理系
【出 处】
：
真空科学与技术
【发表日期】
：
2001年5期
其他文献
近年来，在“儿童本位”的教育理念的指引下，课程游戏一体化日趋显著，成为教育改革一个重要的发展方向。为此，作为新时期的教师，必须从儿童实际需求出发，挖掘课程游戏化资源，搭建课程
通过对济南某办公楼所处地质条件和承载力计算的分析,介绍了钻孔灌注桩后压浆施工、桩端后压浆的加固机理,并对其施工工艺加以阐述,在不扩大桩径、不增加桩长的条件下提高了
在电子回旋共振(ECR)等离子体装置中,使用Ar气,N2气,H2气和普通空气放电,对聚四氟乙烯(PTFE)材料进行表面处理以提高其表面粘结性能.详细研究了在不同的放电气压,微波功率,处