【摘 要】
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由中国计量科学研究院长度处研制的光学细分干涉仪及λ/100镀膜平面标准于1985年12月在北京通过鉴定。这种光学细分干涉仪采用先进原理,可测量直径到80mm镀膜光学平面的平面
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由中国计量科学研究院长度处研制的光学细分干涉仪及λ/100镀膜平面标准于1985年12月在北京通过鉴定。这种光学细分干涉仪采用先进原理,可测量直径到80mm镀膜光学平面的平面度,其测量的不确定度为2σ≤λ/100,达到国际先进水平,并以此建立了准确度为λ/100的φ80mm的镀膜平面标准。光学细分干涉仪安装在主要性能指标达到
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