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采用辉光放电的方法产生氮原子离子束，束流中Ｎ＾＋／Ｎ２＾＋高达５：１，用飞行时间质谱研究了束流的Ｎ＾＋／Ｎ２＾＋比率与放电条件的关系，指出了提高Ｎ＾＋／Ｎ２＾＋比率的途径。
辉光放电氮原子离子束源研制及其质谱研究
【摘 要】
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采用辉光放电的方法产生氮原子离子束，束流中Ｎ＾＋／Ｎ２＾＋高达５：１，用飞行时间质谱研究了束流的Ｎ＾＋／Ｎ２＾＋比率与放电条件的关系，指出了提高Ｎ＾＋／Ｎ２＾＋比率的途径。
【机 构】
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复旦大学物理学系国家三束材料改性重点联合实验室,200433
【出 处】
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复旦学报：自然科学版
【发表日期】
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1998年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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