【摘 要】
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日本自1960—1961年硅晶体的生产开始工业化以来,20年间硅晶体技术取得的进步由表1可见其梗概。在这20年里,硅晶体生长和加工技术随着半导体器件技术的进步而发展,以不断适
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日本自1960—1961年硅晶体的生产开始工业化以来,20年间硅晶体技术取得的进步由表1可见其梗概。在这20年里,硅晶体生长和加工技术随着半导体器件技术的进步而发展,以不断适应半导体器件的新要求。
Since 1960-1961 in Japan, the production of silicon crystals began to industrialization, the progress made in silicon crystal technology over the past 20 years can be seen from Table 1. In these 20 years, silicon crystal growth and processing technology with the development of semiconductor device technology to continuously adapt to the new requirements of semiconductor devices.
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