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在离子束辅助激光制备取向薄膜的物理机制基础上，利用计算机织构薄膜生长的物理过程，结果表明，织构薄膜的质量直接与不同取向晶粒被辅助粒子束射射掉的几率相关，这在实验中表现为与辅助离子束入射方向，离了束能量，薄膜材料种类等因素有关。
离子事辅助激光制备组构薄膜的计算机模拟
【摘 要】
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在离子束辅助激光制备取向薄膜的物理机制基础上，利用计算机织构薄膜生长的物理过程，结果表明，织构薄膜的质量直接与不同取向晶粒被辅助粒子束射射掉的几率相关，这在实验中表现为
【机 构】
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华中师范大学,华中科技大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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2001年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目59602004
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