【摘 要】
：
搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统.利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑.利用激光快速扫描器的二维扫描功能,通过控
论文部分内容阅读
搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统.利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑.利用激光快速扫描器的二维扫描功能,通过控制激光功率和扫描速度,对曝光量和填充线条间距进行了优化.提出了两种双尺度复合织构的制备方法：一种是在激光快速扫描系统中对抗蚀剂表面分别进行z,y方向的扫描光刻,然后在干涉光刻系统中进行双光束干涉光刻;另一种是在激光干涉光刻系统中进行两次曝光,每次曝光的入射角不同.实验结果表明：这两种方法在制备双尺度复合织构方面具有快速、廉价、操作简易等优点.
其他文献
分析了冲件的结构特点与成形工艺，设计了级进模排样方案，介绍了一种利用自动送料初定位，导正钉精定位，导料浮料销导料，连续进行零件轮廓冲切、弯曲等多个工位，最终将成品切离坯料的
在当今信息爆炸时代影响下,高校图书馆的阅读推广似乎陷入了僵局。一方面,新媒体的发展给推广服务带来了巨大的发展空间,另一方面又带来了严峻的挑战。高校图书馆应该顺应时
冷战结束后，以信息技术、网络技术为特征的新技术革命扑面而来，促进了世界经济逐渐向一体化发展。经济基础的变革必然会要求政治体制调适自己的运行机制与之相适应。所以作为政
研究了将回旋管及其他高功率微波器件的振荡输出模式转换成准高斯波束的准光模式变换器，实现了准高斯模TEM00的横向输出。利用几何光学分析了模式在波导中的传播，进一步分析了
河北省秦皇岛市科学技术协会是秦皇岛市市委领导下的人民团体，是代表全市科技工作者的群众组织，是党和政府联系科技工作者的桥梁和纽带，是推动科技事业发展的重要社会力量。
基于简化模型编写了结构简单、运行高效的Z箍缩计算程序,并已应用于＂阳＂加速器上开展的Z箍缩物理研究。在＂阳＂加速器和PTS的参数范围内进行了数值计算,结果表明：对于质量较轻的负
一光阴荏苒,岁月轮回,抗战胜利至今已整整60载.60年弹指一挥间,今天大多数的中国人,对于那一段血与火的岁月已经只有抽象的历史记忆.在中国这块土地上,曾经空前绝后的屈辱,壮
各位领导、各位代表、同志们：中国科学技术协会第九次全国代表大会隆重开幕了。这是我国科技界的一次盛会，也是人民团体事业发展的一件盛事。在此，我谨代表全国总工会、共青团中
2004年的6月13日,是老一辈无产阶级革命家陈云同志诞辰100周年纪念日,在回顾他七十多年的革命生涯中,我们不仅为其实事求是、探索经济发展规律、形成的极为丰富的社会主义经
冠名权起源于19世纪末20世纪初的西方大学校园内,它最初是各大学获取赞助经费的一个重要渠道.发展到70年代,美国诞生了第一宗体育冠名权交易.80年代,体育冠名权交易在美国等