用散射光测量正弦表面粗糙度参数的反计算问题

• 作 者: 马义中
• 机 构: 郑州航空学院
• 出 处: 洛阳工学院学报
• 发表日期: 1993年04期
• 关键词: 光学测量 正弦表面 反计算 粗糙率 Optical techniqueSinusoidal surfaceSurface roughness parameter

本文利用光的角散射分布技术,一般性地解决了正弦表面粗糙度参数的反计算问题。其方法是首先利用 P.Beck-mann 提出的光散射标量理论,计算出光的角散射分布光强。根据光栅方程,得到表面轮廓的平均波长λ_(?);根据角散射分布光强的标准偏差σ,找到了平均斜率Δ_(?)与σ之间的关系,从而得到Δ_(?)的反计算值;再由Δ_(?),λ_(?)与平均粗糙度 R_(?)之间的关系,确定 R_(?)的反计算值。仿真结果表明了该方法的正确性,本文的结果对解决表面粗糙度参数的反计算问题作了有益的探索。