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【摘 要】
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以氧化锌铝陶瓷靶为溅射源,采用射频磁控溅射方法制备了铝掺杂氧化锌（AZO）无铟透明导电薄膜,通过X射线衍射仪、分光光度计和四探针仪等测试分析,研究了基板温度对薄膜晶体结构
【机 构】
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中南民族大学电子信息工程学院,中南民族大学计算与实验中心
【出 处】
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中南民族大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2011年1期
【基金项目】
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湖北省自然科学基金资助项目（2009CDB166）, 中南民族大学学术团队基金资助项目（XTZ09003）
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